SARIROH A. PENGARUH KECEPATAN DAN WAKTU PUTAR SPIN COATING TERHADAP KETEBALAN LAPISAN TIPIS MATERIAL BERBASIS POLIMER PMMA (POLYMETHYL METHACRYLATE ). Inov. Fis. Indones. [Internet]. 2017 Dec. 12 [cited 2026 Jan. 13];7(1). Available from: https://ejournal.unesa.ac.id/index.php/inovasi-fisika-indonesia/article/view/22177